四合院：悟性逆天，七级工程师 第254章 第一枚芯片

饭后，赵母带着赵月兰回屋休息，赵部长却叫住了许志远。

“志远，陪我到院子里走走。”赵部长的语气温和，却透着几分深意。

许志远点了点头，跟着岳父走到院子里。夜风微凉，赵部长背着手，走到院子中央，停了下来，转头看向许志远。

“志远啊，今天的事，我是真高兴。”赵部长语气里透着几分欣慰，“月兰怀孕了，你又这么出色，咱们赵家是真的后继有人了。”

“爸，您别这么说。”许志远笑着说道，“我只是做了我该做的。”

赵部长点了点头，脸上的笑容渐渐收敛，语气变得严肃起来：“不过，志远，有件事我还是得跟你聊聊。”

“您说，爸。”许志远也收起了笑容，认真地看着赵部长。

赵部长沉默了一会儿，轻轻叹了口气：“我最近听到一些传言，说你在搞光刻机的事上……一直没什么动静。志远，你是不是遇到什么难处了？”

许志远愣了一下，随即笑了笑：“爸，这事您不用担心，我心里有数。”

赵部长皱了皱眉，语气中透着担忧：“志远，我不是不相信你，可光刻机的难度，你自己也清楚。那些人可是盯着你呢，一旦你没搞成，他们绝不会放过你。”

“我知道。”许志远点了点头，眼神却异常坚定，“爸，我许志远不是那种喜欢吹牛的人，更不会拿自己的前途开玩笑。这光刻机，我既然敢接下来，就一定会搞成！”

赵部长盯着他看了几秒，似乎在判断他的真心。最终，他叹了口气，拍了拍许志远的肩膀：“志远，既然你这么有信心，那我就不多说了。不过，你一定要量力而行，保住自己最重要，知道吗？”

许志远笑着点了点头：“爸，您放心吧，到时候我一定让您看到结果！那些不信我的人，等着瞧好了！”

赵部长看着他那自信的模样，心里虽然还有几分担忧，但也不好再多说什么，只能点了点头：“好，我等着你给我带来好消息！”

……

许志远站在小世界中央，面前是那台他耗费无数心血、倾尽全力打造出来的光刻机。

一台占地约两米长、两米宽的庞然大物静静立在那里，表面泛着金属的冷光，复杂的结构和精密的零件散发着一种独特的机械美感。

光刻机的核心部件，包括深紫外光源系统、光学投影系统、以及纳米级精度的步进扫描平台，一切都被他调试到了最佳状态。

这是一台第一代光刻机，虽然制程还停留在几微米级别，但对于这个时代的国内技术水平而言，这已经是前所未有的突破。

许志远站在光刻机面前，深吸了一口气，目光中充满了兴奋和期待。他知道，这不仅仅是一台机器，而是一个国家工业科技迈出的第一步。

“系统，启动光刻机。”许志远语气低沉却坚定，仿佛在宣告一个全新时代的开始。

随着一声命令，小世界中的智能系统迅速响应，光刻机开始运转。

首先启动的是深紫外光源系统，一束高强度的193纳米深紫外激光束在光束整形模块中被调整成均匀的矩形光斑。随后，光束通过一系列高精度的光学镜片和反射镜组，被投射到掩模版上。

掩模版是许志远亲手设计并刻蚀的，图案是一个简单的逻辑电路——这是他为第一片芯片设计的基础模板。光束穿过掩模版后，被精准投影到涂有光刻胶的硅片表面。

硅片被固定在步进扫描平台上，而平台以纳米级的精确度缓缓移动，将整个图案逐步曝光在硅片表面。

“光学投影系统运行正常，误差小于0.8微米。”系统的冷静提示音在小世界中回荡。

许志远盯着屏幕上的参数，嘴角微微上扬。这台光刻机的性能已经超出了他的预期。

光刻工艺的第一步是将电路图案通过曝光转移到硅片上。许志远从小世界的材料库中取出一片原始硅片，将其涂上一层均匀的光刻胶，放在光刻机的步进扫描平台上。

“曝光完成，下一步进行显影。”系统提示音响起。

许志远将曝光后的硅片取下，小心翼翼地放入显影槽中。显影液是他根据配方自行调配的，能够将光刻胶中被曝光的部分溶解，留下未曝光的部分作为掩膜。

显影完成后，一块布满精细电路图案的硅片呈现在他面前。许志远仔细检查了硅片表面，确认图案清晰且没有明显的缺陷。

“接下来是刻蚀。”他低声自语，随即将硅片放入等离子刻蚀机中。

刻蚀工艺是光刻机之后的关键步骤，通过化学反应将硅片表面未被掩膜保护的部分去除，形成真正的电路结构。这一步需要极高的精确度，否则会导致整个芯片报废。

等离子刻蚀机运转时，发出轻微的嗡鸣声。许志远盯着屏幕上的实时数据，手指不时在控制面板上调整参数。几分钟后，刻蚀完成，硅片被取出。

“刻蚀完成，表面结构清晰，电路完整。”系统再次给出了正面反馈。

接下来是掩膜的去除和金属化工艺。许志远将硅片放入化学槽中去除光刻胶，然后通过金属沉积技术为电路铺设导电层。经过一系列复杂的工艺之后，第一片芯片终于完成。

许志远小心翼翼地将芯片装载到测试平台上，连接好电源和测试设备。

他设计的这片芯片是一个简单的逻辑电路，用于验证光刻机的精度和工艺的完整性。如果这片芯片能够正常运行，就意味着他的光刻机完全达标。

“系统，启动测试程序。”许志远屏住呼吸，目不转睛地盯着屏幕。

测试仪器开始工作，芯片的电路被逐一检测，测试数据实时显示在屏幕上。

“输入信号正常……输出信号正常……逻辑运算正确……功耗符合预期……”系统的提示音一项接一项地响起。

终于，屏幕上出现了一行大字：

“芯片功能测试通过！”

许志远整个人僵住了，随即长长地吐出一口气，脸上露出了掩饰不住的笑容。他握紧拳头，忍不住低声喊了一句：“成了！真的成了！”

他激动地站起来，绕着光刻机转了一圈，双手撑在机器上，脸上写满了激动和满足。